常翔学園 大阪工業大学図書館

半導体製造の技術開発

坂野進[ほか]編集. -- 日本規格協会, 1994. -- (品質工学応用講座). <TW00041885>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工枚方 工枚普通図書 549.8||S 89602150 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工枚方
配置場所 工枚普通図書
請求記号 549.8||S
資料ID 89602150
禁帯出区分
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造の技術開発 / 坂野進[ほか]編集
ハンドウタイ セイゾウ ノ ギジュツ カイハツ
出版・頒布事項 東京 : 日本規格協会 , 1994.10
形態事項 366p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4542511103
書誌構造リンク 品質工学応用講座||ヒンシツ コウガク オウヨウ コウザ <BB99679283>//a
学情ID BN11659879
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 坂野, 進
サカノ, ススム <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 品質管理||ヒンシツカンリ