常翔学園 大阪工業大学図書館

プラズマ/プロセスの原理

Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳. -- 第2版. -- 丸善, 2010. <BB99194064>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大5F一般図書 棚16 427.6||L 10904816 帯出可 0件
0002 工大宮 工大5F一般図書 棚16 427.6||L 11600852 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大5F一般図書 棚16
請求記号 427.6||L
資料ID 10904816
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大5F一般図書 棚16
請求記号 427.6||L
資料ID 11600852
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 2010.1
形態事項 xxix, 612p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784621082232
その他の標題 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing
その他の標題 異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
注記 監修: 堀勝
注記 参考文献: p[591]-604
学情ID BB00985264
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Lieberman, M. A. (Michael A.) <AU10051590>
著者標目リンク Lichtenberg, Allan J <AU10051589>
著者標目リンク 佐藤, 久明
サトウ, ヒサアキ <>
著者標目リンク 堀, 勝(1958-)||ホリ, マサル <AU00037702>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 電磁気学 NDC9:427.6
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク
件名標目等 薄膜||ハクマク