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常翔学園 大阪工業大学図書館

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電子線リソグラフィ教本

秋永広幸編. -- オーム社, 2007. <BB99024104>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚18 549.7||A 10702639 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚18
請求記号 549.7||A
資料ID 10702639
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
デンシセン リソグラフィ キョウホン
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2007.6
形態事項 xiii, 210p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784274204159
その他の標題 標題紙タイトル:Electron beam lithography
注記 監修: 横山浩
注記 参考文献: p201-203
学情ID BA82476094
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 秋永, 広幸
アキナガ, ヒロユキ <>
著者標目リンク 横山, 浩||ヨコヤマ, ヒロシ <AU10078903>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 電子線||デンシセン
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