常翔学園 大阪工業大学図書館

レジスト材料

伊藤洋著 ; 高分子学会編集. -- 共立出版, 2005. -- (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10). <BB00113661>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚18 549.7||I 10500762 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚18
請求記号 549.7||I
資料ID 10500762
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
レジスト ザイリョウ
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 2005.2
形態事項 iv, 104p : 挿図 ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320043723
書誌構造リンク 高分子先端材料One Point / 高分子学会編集||コウブンシ センタン ザイリョウ One Point <BB00094191> 10//a
学情ID BA70954224
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 洋(1946-)
イトウ, ヒロシ <>
著者標目リンク 高分子学会||コウブンシ ガッカイ <AU10022575>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 感光性樹脂||カンコウセイジュシ