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常翔学園 大阪工業大学図書館

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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第5版. -- 日刊工業新聞社, 2000. <TW00065611>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大4F集密書架参考図書 R549.8||H 10009259 禁帯出 0件
0002 工枚方 工枚参考図書 R549.8||H 80002688 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大4F集密書架参考図書
請求記号 R549.8||H
資料ID 10009259
禁帯出区分 禁帯出
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 工枚方
配置場所 工枚参考図書
請求記号 R549.8||H
資料ID 80002688
禁帯出区分 禁帯出
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版事項 第5版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2000.11
形態事項 xiv, 588p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526046663
その他の標題 標題紙タイトル:Terminological dictionary of semiconductor equipment
学情ID BA49490746
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会||ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <AU00014887>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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