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常翔学園 大阪工業大学図書館

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半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス

土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄著. -- 工業調査会, 1998. -- (K books ; 134). <BB00092878>
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半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス

土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄著. -- 工業調査会, 1998. -- (K books ; 134). <BB00092878>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚18 549.7||D 10402670 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚18
請求記号 549.7||D
資料ID 10402670
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス / 土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄著
ハンドウタイ ヘイタンカ CMP ギジュツ : チョウ LSI セイゾウ ノ キー プロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1998.7
形態事項 307p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4769311648
書誌構造リンク K books <BB00027381> 134//a
注記 参考文献: 章末
学情ID BA36801173
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 土肥, 俊郎||ドイ, トシロウ <AU10038866>
著者標目リンク 河西, 敏雄||カワニシ, トシオ <AU10067503>
著者標目リンク 中川, 威雄||ナカガワ, タケオ <AU10076115>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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